安徽譜純特種氣體(多圖)-重慶工業(yè)特種氣體有哪些：

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特種氣體系統(tǒng)：常規(guī)供氣系統(tǒng)

特種氣體采用普通鋼瓶（<50L）供氣。特氣輸送系統(tǒng)采用氣瓶柜。配置全自動(dòng)PLC控制器，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動(dòng)閥門和壓力傳感器，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)切換，自動(dòng)氮?dú)獯祾撸詣?dòng)真空輔助放空；多重安全防護(hù)措施，泄漏偵測(cè)，遠(yuǎn)程緊急切斷；專用氮?dú)獯祾咂鹪吹鹊取MB采用支路氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾撸婵蛰o助排空。惰性氣體多采用半自動(dòng)氣瓶架，繼電器控制，自動(dòng)切換，手動(dòng)吹掃，手動(dòng)放空；VMB主管氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾撸恢窔鈩?dòng)閥，氮?dú)獯祾撸婵蛰o助排空。氣體房和抽風(fēng)系統(tǒng)根據(jù)氣體性質(zhì)進(jìn)行分類。              

特種氣體:高純氯1氣

高純氯1氣制取方法

高純氯的生產(chǎn)方法仍以工業(yè)氯為原料，工業(yè)特種氣體有哪些，吸附凈化。工業(yè)液1氯中的雜質(zhì)含量較多，欲制得高純氯必須把原料氯中的H2O、O2、N2、CO2、CO、H2、CH4等除去，除H2O外其余雜質(zhì)的沸點(diǎn)均低于氯，故用物理吸附法除去H2O和CO2；冷凝分離法除去O2、N2、H2、CO、CH4等。但氯不僅劇1毒，且具有強(qiáng)氧化、強(qiáng)腐蝕的異常活潑的化學(xué)性質(zhì)，除少數(shù)稀有氣體外，幾乎能與所有元素形成化合物。因此要篩選不受氯腐蝕、不與氯起化學(xué)反應(yīng)的干燥劑、吸附劑，以及這些吸附劑的化學(xué)處理、再生等。

特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工

供氣系統(tǒng)的選擇

簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)

簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)主要針對(duì)4英寸及以下半導(dǎo)體芯片廠、半導(dǎo)體材料的科研機(jī)構(gòu)以及一些單臺(tái)的工藝設(shè)備等。它們的制程簡(jiǎn)單，通常不需要連續(xù)性供氣，對(duì)氣體供應(yīng)系統(tǒng)的投資預(yù)算低。

惰性氣體瓶架則采用全手動(dòng)系統(tǒng)，有些甚至用單瓶系統(tǒng)。所有氣體共用一個(gè)氣體房，甚至沒有氣體房，特氣鋼瓶和輸送系統(tǒng)有時(shí)放在回風(fēng)夾道，或直接放在工藝制造設(shè)備旁邊或隔壁。如果沒有特別危險(xiǎn)氣體一般共用一個(gè)抽風(fēng)系統(tǒng)。簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)通常存在安全隱患。

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